JY/T 0583-2020 聚焦离子束系统分析方法通则

标准编号:JY/T 0583-2020

标准名称:聚焦离子束系统分析方法通则

英文名称:

中国标准分类号(CCS):Y51

国际标准分类号(ICS):03.180

发布部门:教育部

起草单位:北京科技大学、国家纳米科学中心、哈尔滨工业大学、南京大学、西安交通大学、天津大学

标准状态:现行

发布日期:2020-09-29

实施日期:2020-12-01

标准简介:

本标准规定了聚焦离子束系统的分析方法原理、分析环境要求、仪器、分析样品、分析步骤、结果报告和安全注意事项。
本标准适用于各类型聚焦离子束系统。

部分内容展示:

5.2.3样品室系统
由样品台、探测器和气体注人系统等组成,计算机通过鼠标、控制杆、键盘和预装的定位系统来控制样品台(x轴、y轴、z轴)、旋转(r轴)和倾转(t轴)等方向的运动。
524信号采集处理单元
次电子或二次离子被探测器接收,并通过模数转换同步调制显示器的亮度形成图像52.5真空系统
由机械泵、分子泵及离子泵等部件组成,使离子光学系统真空优于10-5Pa,样品室真空优于10-3Pa
5.3检定或校准
仪器在投人使用前包括用于测量环境条件等辅助测量的仪器,应采用检定或校准等方式以确认其是否满足检测分析的要求。仪器及辅助测量的仪器在投入使用后,应有计划地实施检定或校准,以确认其是否满足检测分析的要求。检定或校准应按有关检定规程、校准规范或校准方法进行

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