JY/T 0584-2020 扫描电子显微镜分析方法通则

标准编号:JY/T 0584-2020

标准名称:扫描电子显微镜分析方法通则

英文名称:

中国标准分类号(CCS):Y51

国际标准分类号(ICS):03.180

发布部门:教育部

起草单位:天津大学、华南理工大学、扬州大学、苏州大学、哈尔滨工业大学

标准状态:现行

发布日期:2020-09-29

实施日期:2020-12-01

标准简介:

本标准规定了扫描电子显微镜(scanning electron microscope,以下简称扫描电镜或SEM)的分析方法原理、环境条件指标、仪器、样品、分析测试、结果报告、仪器维护和安全注意事项本标准适用于利用各类扫描电镜进行的微观形貌、微区成分和结构分析等。

部分内容展示:

4.3X射线能谱分析原理
Ⅹ射线能谱定性分析的理论基础是 Moseley定律,即各元素的特征Ⅹ射线频率υ的平方根与原子序数Z成线性关系。同种元素,不论其所处的物理状态或化学状态如何,所发射的特征X射线均具有相同的能量,根据特征Ⅹ射线的能量可以确定样品表面的元素组成。
X射线能谱定量分析以测量特征X射线的强度作为分析基础,可分为有标样定量分析和无标样定量分析两种。在有标样定量分析中样品内各元素的实测X射线强度,与成分已知的标样的相同元素的同名谱线强度相比较,经过背景校正和基体校正,便能算岀它们的绝对含量。在无标样定量分析中,样品内各元素同名或不同名Ⅹ射线的实测强度相互比较,经过背景校正和基体校正,便能计算出它们的相对含量。如果样品中的所有元素均在仪器的检测范围之內,则它们的相对含量经归一化后,就能得出绝对含量。
4.4电子背散射衍射分析原理
电子背散射衍射花样中每一菊池带,代表晶体中一组晶面,菊池带宽度反比于皛面间距,菊池带交叉处代表一个结晶学方向。计算机通过识别以上特征,标定出菊池带的宽度、强度、位置和相互夹角,并与理论数据进行尝试性的比对,最终标定岀菊池带所对应的晶面指数、菊池带交叉区对应的结晶学方向、菊池花样对应的晶体结构,甚至确定岀物质种类。逐点采集EBSD花样并计算,能够得到取向分布图。基于此图,可以对样品进行物相、织构、晶粒度、晶界类型、应变、再结晶等方面的研究。
EBSD探测器也被用作多分割型背散射电子探测器。集成在EBSD探测器周边的前置背散射探测器用于成像,方便配合EBSD分析

博创标准pdf下载网
博创标准下载网 » JY/T 0584-2020 扫描电子显微镜分析方法通则

发表评论

提供最优质的资源集合

立即查看 了解详情